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电火花测真空度原理与电火花真空检测器原理

电火花测真空度的原理是通过电火花放电来检测真空系统中的微小泄漏。电火花真空检测器利用电火花放电产生的能量激发气体分子，从而检测真空腔内的压力变化，判断是否存在泄漏。...